В лаборатории порошковой металлургии института разработана технология и изготовлены опытные образцы мишеней из сплавов на основе кремния, содержащих 5-10% алюминия. Были изготовлены мишени различных размеров и формы. Максимальный размер составил 240х127мм. Образцы были опробованы в процессе магнетронного распыления и показали свойства, удовлетворяющие специфическим требованиям этого процесса.

Oбразцы не превышают нормы по содержанию неметаллических включений, по пористости и содержанию растворенных газов. Чистота материала не менее 99,9%. Распределение кремний - алюминиевой эвтектики равномерное. Отклонения в содержании алюминия составляют десятые доли процента. Удельное электросопротивление мишеней находится в интервале 1-4*10^-3W см, пористость не превышает 5%.

Tестовые испытания показали, что полученные с использованием мишеней пленки полностью соответствуют по своим оптическим константам кварцу. Коэффициент преломления составил 1,42 - 1,45. Оптическое пропускание в видимой области спектра не менее 92%. Максимальная локальная мощность в зоне распыления составила 90 вт/см², при этом материал не растрескивался. Таким образом, изготовленные образцы мишеней оказались пригодными для использования в технологии магнетронного распыления.

Лаборатория порошковой металлургии.